166 F →s8802228: 曝光機分DI aligner stepper scanner 黃光的很少說中文 03/05 03:21. 167 F →s8802228: 何況現在陸製貨不少講光刻機或曝光機沒人聽不 ... ... <看更多>

微影設備依據光源波長在目前的半導體廠中主要有五代不同的曝光機設備。 ... 但是不一定是scanner，也有可能是stepper 喔～ 12/27 18:13. ... <看更多>

一直很想吐槽一件事，光刻機其實是大陸的說法，台灣一般稱作微影設備，或是stepper/sc anner，而且叫光刻機一點都不符它的用途，因為機器本身只有曝光的功能，沒有顯影 ... ... <看更多>

venomsoul: r居多，至少在193 ArF的時候都是叫stepper居多 12/27 07:48 ... roger717: 其實連曝光機都很少有人講，在公司只說scanner。 ... <看更多>

里梭科技完美翻修曝光機9／13秀解決方案 ... CANON stepper reticle & Cassette robot overhaul ... NIKON stepper/scanner R-theta robot controller overhaul. ... <看更多>

... 重複著[微影]、[蝕刻]、[薄膜]、[擴散]、[離子植入]的過程，光罩就是使用在微影製程(Photolithography)，晶圓在進入曝光機台(stepper或scanner)進行曝光前，需先. ... <看更多>